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無塵車間的主要功能為室內(nèi)污染控制，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
無塵車間潔凈室氣流流型的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：1、無塵車間潔凈室的氣流流型和送風(fēng)量應(yīng)符合下表所示的要求，空氣潔凈度等級要求嚴(yán)于4級時，應(yīng)采用單向流，空氣潔凈度等級為4級-5級時，應(yīng)采用單向流，空氣潔凈度等級為6級-9級時，應(yīng)采用非單向流。2、無塵車間潔凈室工作區(qū)的氣流分布應(yīng)均勻3、無塵車間潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)符合生產(chǎn)工藝要求。
千級無塵車間代表什么意思? 每立方將低于0.5μm粒度的微塵總數(shù)操縱在3500個下列，就做到了國際性潔凈標(biāo)準(zhǔn)的A1級?，F(xiàn)階段運(yùn)用在芯片級生產(chǎn)制造的潔凈標(biāo)準(zhǔn)針對塵土的規(guī)定高過A1級，那樣的高標(biāo)準(zhǔn)關(guān)鍵被運(yùn)用在一些級別較高芯片生產(chǎn)上。微塵總數(shù)被嚴(yán)格控制在每立方1000個之內(nèi)，這也就是說業(yè)界別名級別中的千級。 千級無塵車間的標(biāo)準(zhǔn)，微塵總數(shù)被嚴(yán)格控制在每立方1000個之內(nèi)，這也就是說業(yè)界千級無塵車間的含意。（1000級的定義是：每立方英寸內(nèi),大于0.5的塵土顆粒物不可以超出1000顆）。 無塵車間級別標(biāo)準(zhǔn)劃分 潔凈室等級標(biāo)準(zhǔn)ISO14644依據(jù)飄浮粒子濃度值這唯1指標(biāo)值來劃分凈化室(區(qū))及有關(guān)控制計(jì)劃自然環(huán)境中氣體潔凈度等級的級別，而且僅考慮到粒度限制值(下限)0.1um～0.5um范圍之內(nèi)總計(jì)遍布的粒子群。
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